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La ricerca find articoli where soggetti phrase all words 'VHF DISCHARGE' sort by level,fasc_key/DESCEND, pagina_ini_num/ASCEND ha restituito 3 riferimenti
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    1. TAKECHI K; TAKAGI T; KANEKO S
      THE MECHANISM AT WORK IN 40 MHZ DISCHARGE SIH4 NH3/N-2 PLASMA CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION OF SINX FILMS AT VERY RATES/

      JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS
    2. KROLL U; SHAH A; KEPPNER H; MEIER J; TORRES P; FISCHER D
      POTENTIAL OF VHF-PLASMAS FOR LOW-COST PRODUCTION OF A-SI-H SOLAR-CELLS

      Solar energy materials and solar cells
    3. TAKECHI K; TAKAGI T; KANEKO S
      PERFORMANCE OF A-SI-H THIN-FILM TRANSISTORS FABRICATED BY VERY HIGH-FREQUENCY DISCHARGE SILANE PLASMA CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION

      JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS


ASDD Area Sistemi Dipartimentali e Documentali, Università di Bologna, Catalogo delle riviste ed altri periodici
Documento generato il 15/08/20 alle ore 16:56:38