Catalogo Articoli (Spogli Riviste)

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Titolo:
REACTIVE DIRECT-CURRENT MAGNETRON SPUTTERING OF ALUMINUM-OXIDE COATINGS
Autore:
SPROUL WD; GRAHAM ME; WONG MS; LOPEZ S; LI D; SCHOLL RA;
Indirizzi:
NORTHWESTERN UNIV,BIRL EVANSTON IL 60201 ADV ENERGY IND INC FT COLLINS CO 80525
Titolo Testata:
Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films
fascicolo: 3, volume: 13, anno: 1995,
parte:, 1
pagine: 1188 - 1191
SICI:
0734-2101(1995)13:3<1188:RDMSOA>2.0.ZU;2-6
Fonte:
ISI
Lingua:
ENG
Soggetto:
DEPOSITION; AL2O3;
Tipo documento:
Article
Natura:
Periodico
Settore Disciplinare:
Science Citation Index Expanded
Science Citation Index Expanded
Citazioni:
12
Recensione:
Indirizzi per estratti:
Citazione:
W.D. Sproul et al., "REACTIVE DIRECT-CURRENT MAGNETRON SPUTTERING OF ALUMINUM-OXIDE COATINGS", Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films, 13(3), 1995, pp. 1188-1191


ASDD Area Sistemi Dipartimentali e Documentali, Università di Bologna, Catalogo delle riviste ed altri periodici
Documento generato il 13/07/20 alle ore 11:11:32