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Titolo:
OPTIMIZATION OF HF LAST AND OXIDANT WET CLEANINGS FOR 7 NM GATE OXIDE
Autore:
TARDIF F; LARDIN T; PAILLET C; JOLY JP; BENEYTON B;
Indirizzi:
CEN GRENOBLE,CEA TECHNOL AVANCEES,LETI,MEL,17 RUE MARTYRS F-38054 GRENOBLE FRANCE
Titolo Testata:
Microelectronic engineering
fascicolo: 1-4, volume: 28, anno: 1995,
pagine: 121 - 124
SICI:
0167-9317(1995)28:1-4<121:OOHLAO>2.0.ZU;2-V
Fonte:
ISI
Lingua:
ENG
Tipo documento:
Article
Natura:
Periodico
Settore Disciplinare:
Science Citation Index Expanded
Science Citation Index Expanded
Science Citation Index Expanded
Citazioni:
NO
Recensione:
Indirizzi per estratti:
Citazione:
F. Tardif et al., "OPTIMIZATION OF HF LAST AND OXIDANT WET CLEANINGS FOR 7 NM GATE OXIDE", Microelectronic engineering, 28(1-4), 1995, pp. 121-124


ASDD Area Sistemi Dipartimentali e Documentali, Università di Bologna, Catalogo delle riviste ed altri periodici
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